80 мкм межцифровой электрод IDE конденсатор массив исследовательский эксперимент биологический датчик влажности Газа Чип 30

80мкм раздвоенный палец электрода IDE конденсатор массив научно-исследовательский эксперимент биологический датчик влажности Газа Чип умный износ 30

1. Материал основания: Алюминий Керамика; Внешние размеры: 9 мм * 10 мм.

2. Ширина линии: 80мкм; Расстояние между линиями: 80мкм. Поперечные Пальцы: 15 пар (30 пальцев).

3. Структура металлического слоя: Ti/Cu/Ni/Au, Толщина: 0,1 мкм, 2мкм, 1мкм, 1мкм.

4. Применимая температура: от-50 ℃ до + 350 ℃.