| Тип параметра
| PrimeLevel я техническими показателями
|
| Размер продукта | 4 дюйма на одной стороне полированная Кремниевая Пластина |
| Метод роста | CZ одиночный кристалл (CZ) |
| Обработка поверхности | На одной стороне полировка |
| Диаметр толерантность | 100,2 ±0. 3 мм |
| Допинг Тип | Допант (NType-doped фосфор, мышьяк и антимоний) (PBoron doped) |
| С украшением в виде кристаллов ориентации |
100111 110
|
| ResistivityΩ | 0,001-100 |
|
ПланенессМДП
|
<3um
|
|
КороблениеTTV
|
<10um
|
|
Степень изгибаЛук
|
<10um
|
|
Полировка шероховатостьРА
|
<0.5nm
|
|
ЗернистостьPewaferr
|
<10 (Для размера>0.3um)
|
|
ТолщинаUm
| 300-525um |
| Цель |
Носители образцов для процесса isosynchrotron излученияLPCVD/PEСердечно-сосудистых заболеванийПокрытие как подложка, образцы, выращенные магнетронным распылением,РСА、SEM, AFM, инфракрасная спектральная флуоресцентная спектроскопия и другой анализ и измерение субстратов, база, выращенная молекулярным лучом Epitaxy,XРентгеновский анализ кристаллических полупроводников и многих других научных применений.
|
